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產(chǎn)品中心質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)EX-700日本小島進(jìn)口數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)
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| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 流量范圍（N2） | 10/50/100/500 SCCM 1/5/10/20 SLM | 50/100/200 SLM | |
| 可指定氣體（* 1） | N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等/通過CF轉(zhuǎn)換切換） | N2（空氣切換，Ar / CF轉(zhuǎn)換） | |
| 響應(yīng) | 2秒以內(nèi) | ||
| 精度（* 2） | ±1.0%F.S. (25℃) | ±1.5％FS（25°C） | |
| 溫度系數(shù) | ±0.2%F.S./℃ (15～35℃) ※200SLMのみ±0.4%F.S./℃ | ||
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. | ||
| 耐壓 | 980ｋPa(G) | ||
| 允許周圍溫度 | 5～50℃ | ||
| 允許保管溫度 | -10～60℃ | ||
| 允許工作濕度 | 10～90%RH （無結(jié)露） | ||
| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，PTFE，F(xiàn)KM（可選NBR，CRP） | ||
| 電氣連接 | DC插孔或Dsub 9針公頭 | ||
| 數(shù)字通信 | RS 485（MODBUS協(xié)議，RTU模式）ID：1-247 | ||
| 所需電源（DC） | 24VDC(±10%) 100mA以下 | ||
| 接頭 | 1/4F900（標(biāo)準(zhǔn)） | 3/8F900（標(biāo)準(zhǔn)） | |
| 控制針（可選） | MODEL2412 | MODEL2412D | |
| 安裝姿勢(shì) | 推薦水平方向 | ||
| 輸出 | 輸出方式 | NPN開集 2點(diǎn)（最大額定值：DC30V 50ｍA） | |
| 輸出數(shù)量 | 2點(diǎn)（每個(gè)輸出可以選擇并設(shè)置為瞬時(shí)流量上限，下限，上限/下限或積分到達(dá)，積分脈沖也可以在1點(diǎn)選擇。）輸出反轉(zhuǎn)是可能的 | ||
| 活動(dòng)展示 | LED燈（OUT1，OUT2）亮起 | ||
| 模擬輸出（* 4） | ①4～20mA (500Ω以下)?、?～5V (10kΩ以上) ③1～5V (10kΩ以上) | ||
| 重量 | 約600g （不含接頭） | 約700g （不含接頭） | |
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